天津华海清科机电科技有限公司
工商信息
法人：路新春
电话：022-59781212
注册资金：11509.8038万元人民币
信用码：91120112064042488E
成立时间：2013-04-10
注册号：120112000180864
行业：科学研究和技术服务业
规模：100-499人
邮箱：jyang@hwatsing.com
最后更新：2019-12-19
网址：http://www.hwatsing.com
地址：天津市津南区咸水沽镇聚兴道9号3号楼一层
经营范围
主要经营：机电设备技术的开发、转让、咨询、服务及相关产品的制造、安装、维修;货物及技术进出口业务;企业管理咨询服务;晶圆加工;机电设备及耗材制造、销售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
企业简介
天津华海清科机电科技有限公司（简称“华海清科”）是天津市政府与清华大学为促进推动我国化学机械抛光（简称CMP）技术和设备产业化而合资成立的有限责任公司。公司座落于天津市津南区海河科技园内，公司从筹备到成立，得到了天津市各级政府和清华大学的全力支持。清华大学研发团队通过国家科技重大专项“极大规模集成电路装备与成套工艺”（简称02专项）项目“超低下压力CMP系统研制及工艺开发”的实施，已掌握了超低下压力CMP设备及工艺的关键技术，并成功研制出国内首台用于铜制程抛光的300mm晶圆“干进干出”CMP设备，初步具备产业化能力。
华海清科注册资本6000万元人民币，公司拥有清华大学的CMP设备核心技术与骨干团队，通过资源整合、人才引进，成为一家拥有自主核心技术和强大研究团队的高科技公司。华海清科将与清华大学继续合作，并联合中芯国际、上海集成电路研发中心等单位继续承担国家科技重大专项任务，最终实现CMP设备与技术的国产化，逐步替代进口设备，为实现我国集成电路制造装备及工艺的国产化战略做出贡献。